De kantoorgebouwen zijn bovenop de Cleanroom gebouwen ASML 5C/D/H gesitueerd.
Ze vormen een compleet nieuwe ‘bovenstad’ , met een eigen daktuin waarin de werknemers kunnen ontspannen.
Via de centrale liften en verbindingsgangen kan men toegang krijgen tot de andere gebouwen en de kleedsluizen van de onderliggende Cleanrooms.








