Op de ASML Campus in Veldhoven is in navolging van de gebouwen 5B/C (2009) en 5D (2012) het nieuwe hightech-gebouw 5H gerealiseerd.
Gebouw 5H bestaat uit 20 Cleanrooms en heeft een oppervlakte van ruim 9000 m².
In deze geschakelde gebouwen zet ASML zijn nieuwe EUV-machines in elkaar.
